М 59 Микросенсор для контроля остаточного давления на основе периодического теплового режима / О. С. Бохов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 14-17 : рис. - Библиогр. : с. 17 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ , 20-21 вв. Кл.слова (ненормированные): МИКРОСЕНСОР -- ДАВЛЕНИЕ -- МЭМС Аннотация: Существующие чувствительные элементы для измеpения давления ниже атмосфеpного обладают узким диапазоном измеpения, высокой погpешностью и огpаниченным сpоком службы, что связано как с констpуктивными, так и с методическими особенностями датчиков. предложена методика, основанная на исследовании пеpиодического теплового pежима в pаботе теpмоpезистоpного сенсора, позволяющая повысить чувствительность и снизить погpешность, а также уменьшить инеpционность чувствительных элементов за счет измеpения вpеменных, а не амплитудных паpаметpов сигнала |
Н 61 Низкотемпературный синтез текстурированных пленок нитрида алюминия на инородных подложках для устройств микросистемной техники / А. М. Ефременко, А. В. Корляков, О. Н. Асташенкова, А. Н. Кривошеева // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 25-30 : рис., табл. - Библиогр.: с. 30 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕКСТУРА -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- НИТРИД АЛЮМИНИЯ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- ПЛЕНКИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ -- НАПРЯЖЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Представлены результаты исследования процессов получения пленок нитрида алюминия методом высокочастотного магнетронного распыления. Показано влияние основных технологических параметров на свойства получаемых пленок, в том числе влияние электрического поля, образованного некомпенсированным зарядом на поверхности растущей пленки AlN. Предложен механизм возникновения остаточных механических напряжений в пленках AlN при ионно-плазменном осаждении |
К 66 Корляков, А. В. Метод аналогий при комплексном анализе и моделировании элементов микросистем / А. В. Корляков // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 41-48 : рис., табл. - Библиогр.: с. 48 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСИСТЕМА -- МЕТОД АНАЛОГИЙ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ -- СХЕМА ЭКВИВАЛЕНТНАЯ -- ГИРАТОР -- ЭЛЕМЕНТ МЕМБРАННЫЙ Аннотация: Рассматривается метод описания микросистем в обобщенных параметрах. Приведены таблицы аналогий потенциальных и кинетических параметров систем различной физической природы. Рассмотрены особенности схемотехнического описания микросистем в сосредоточенных параметрах на основе аналогии идеальных элементов для различных физических систем. Приведены примеры схем-аналогов преобразователей для различных элементов микросистем |
Р 24 Расчет и измерения динамических параметров наноразмерных колебаний микро-мембранных элементов / А. А. Ветров, А. В. Корляков, А. Н. Сергушичев, К. А. Сергушичев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 48-54 : рис., табл. - Библиогр.: с. 54 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛЬ МАТЕМАТИЧЕСКАЯ -- ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕМБРАННЫЙ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ -- СИСТЕМА ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННАЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ -- ИНТЕРФЕРОМЕТР ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИЙ Аннотация: Приведены математическая модель и результаты расчетов параметров микромембранных элементов, изготавливаемых с применением технологий микросистемной техники. Разработана экспериментальная установка на основе волоконно-оптического торцевого интерферометра для высокоточных бесконтактных измерений чувствительности микромембранных элементов. Предложена методика и измерены частотные зависимости чувствительности микромембранных элементов |
Н 61 Низкопотребляющие малогабаритные радиотехнические модули на основе микроэлектромеханических ключей / О. С. Бохов, М. П. Духновский, А. Б. Козырев, А. В. Корляков, А. Н. Королев, А. В. Лагош, В. В. Лучинин, С. И. Топталов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 60-71 : рис., табл. - Библиогр.: с. 71 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ФАЗОВРАЩАТЕЛИ -- МАТЕРИАЛЫ АЛМАЗОПОДОБНЫЕ -- РЕШЕТКИ АНТЕННЫЕ ФАЗИРОВАННЫЕ -- КЛЮЧИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рaссмomрены особенности построения микроэлектромеханических (МЭМ) ключей различного принципа действия. Рaссмomрены особенности СВЧМЭМ ключей с использованием алмазоподобных материалов. Приведены разработанные модели ключей и проведен комплексный анализ их характеристик. Рассмотрены конструкции и технологии для производства МЭМ ключей. Представлены фазовращатели, созданные на базе МЭМ ключей для фазированных антенных решеток, и фазированные антенные решетки для различных частотных диапазонов на МЭМ ключах |
К 17 Каленов, В. Е. Частотно-резонансный метод измерения механического воздействия с помощью нелинейного микромеханического преобразователя / В. Е. Каленов, А. В. Корляков // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 15-19 : рис. - Библиогр.: с. 19 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- МЭМС -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ НЕЛИНЕЙНЫЙ -- МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ЧАСТОТНО-РЕЗОНАНСНЫЙ Аннотация: Изложены основные принципы измерения механического воздействия частотно-резонансным методом с помощью нелинейного микромеханического преобразователя. Представлены условия, повышающие чувствительность нелинейного микромеханического преобразователя по перемещению и силе. Рассмотрен пример акселерометра на основе нелинейного преобразователя и проведена оптимизация его параметров |
А 91 Асташенкова, О. Н. Контроль физико-механических параметров тонких пленок / О. Н. Асташенкова, А. В. Корляков // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 24-29 : рис. - Библиогр.: с. 29 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕМБРАНЫ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- МОДУЛЬ ЮНГА -- НАПРЯЖЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИЕ -- СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК -- СПОСОБЫ ИЗМЕРЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ Аннотация: Представлена методика измерения и расчета сжимающих и растягивающих внутренних механических напряжений и модуля Юнга в однослойных и композиционных мембранных структурах на основе тонких пленок различных материалов. Приведены результаты измерения механических напряжений и модуля Юнга пленок различных материалов |
К 82 Корляков, А. В. Критерии и оптимизация параметров вибродатчиков / А. В. Корляков, Е. М. Устинов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 35-36 : рис. - Библиогр.: с. 36 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТРАНСФОРМАТОР МЕХАНИЧЕСКИЙ -- ВИБРОДАТЧИКИ -- КРИТЕРИЙ ОПТИМИЗАЦИИ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ Аннотация: Рассматриваются способы одновременного расширения диапазона частот и повышения чувствительности вибродатчиков, содержащих в своей конструкции механические преобразователи (трансформаторы). Рассмотрены варианты применения механических преобразователей, отмечены их преимущества и недостатки. Указаны критерии оптимизации, которые следует учитывать при разработке подобных устройств |
К 66 Корляков, А. В. К вопросу о формировании профессиональных стандартов в интересах наноинлустрии / А. В. Корляков, В. В. Лучинин, Л. А. Марасина // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 12. - С. 14-18. - Библиогр.: с. 18 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРОФЕССИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ -- НАНОИНДУСТРИЯ -- КОМПЕТЕНЦИИ -- ОЦЕНКА И СЕРТИФИКАЦИЯ КВАЛИФИКАЦИИ Аннотация: Представлены базовые положения, определяющие формирование и введение в действие в России профессиональных стандартов. Определены особенности профессиональных стандартов для сферы наноиндустрии |
М 59 Микродвижители для микроробототехники / В. Е. Калёнов, А. П. Бройко, А. В. Корляков, И. К. Хмельницкий, Д. А. Чигирев, Ю. О. Быков, А. В. Лагош, А. И. Крот // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 12. - С. 41-46. - Библиогр.: с. 46 (18 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОМЕХАНИКА -- МИКРОАКТЮАТОРЫ -- МИКРОРОБОТЫ -- ЭЛЕКТРОАКТИВНЫЕ ПОЛИМЕРЫ Аннотация: Представлены результаты анализа основных микромеханических преобразователей запасенной или внешней индуцируемой энергии в механическое перемещение с учетом возможности их применения в микроробототехнике. Проведено сравнение основных характеристик преобразователей: КПД, развиваемых усилий, перемещений, быстродействия. Обсуждаются результаты исследований преобразователей на основе электроактивных полимеров, перспективных для микроробототехники |