О-93 Оценка изгибной жесткости и деформации микроразмерных исполнительных элементов устройств микросистемной техники / В. А. Королева [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 39-42 : рис. - Библиогр. : с. 42 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- ЖЕСТКОСТЬ ИЗГИБНАЯ -- ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОРАЗМЕРНЫЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫЕ -- ДЕФОРМАЦИЯ Аннотация: Проведена экспериментальная оценка изгибной жесткости микроразмерных исполнительных элементов на основе монокристалaического кремния и структуры "ванадий-никель" путем сравнения зависимостей "нагрузка-деформация", измеренных на жестком конструкционном материале и подвижном исполнительном элементе из того же материала. Показано, что экспериментальные значения изгибных жесткостей исполнительных элементов близки к расчетным |
К 68 Королева, В. А. Оценка характеристик микроразмерных слоистых исполнительных элементов устройств микросистемной техники / В. А. Королева, Д. В. Болтунов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 4. - С. 42-45 : рис., табл. - Библиогр. : с. 45 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- ДЕФОРМАЦИЯ -- ЗАВИСИМОСТЬ "НАГРУЗКА-ДЕФОРМАЦИЯ" -- ЖЕСТКОСТЬ ИЗГИБНАЯ ИСПОЛНИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА Аннотация: Проведена расчетно-экспериментальная оценка характеристик подвижных исполнительных элементов электростатических актюаторов: деформации от нагрузки, с последующим расчетом их изгибной жесткости, модуля Юнга конструкционного материала, электрического напряжения срабатывания. Показано, что с увеличением толщины слоя никеля возрастают расчетно-экспериментальные значения изгибной жесткости конструкции. Установлено, что напряжение срабатывания уменьшается при уменьшении толщины слоя никеля. Измеренные значения превышают расчетные, что может быть связано с особенностями технологии изготовления |