И 36 Изделия микросистемной техники - термины и определения, классификация и обозначение типов [Текст] / В. Д. Вернер [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 2-5 : табл. - Библиогр.: с. 5 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕРМИНЫ -- ОПРЕДЕЛЕНИЯ -- ПАРАМЕТРЫ -- МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА |
Л 87 Лучинин, В. В. Наноиндустрия и "Человеческий капитал" [Текст] / В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 6-13 : рис. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОИНДУСТРИЯ -- ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- МЕЖДИСЦИПЛИНАРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ |
К 89 Кузнецова, М. А. Физико-технологические основы применения наноразмерной ионно-лучевой технологии при создании изделий микро- и наносистемной техники / М. А. Кузнецова, В. В. Лучинин, А. Ю. Савенко // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 8. - С. 24-32 : рис. - Библиогр. : с. 32 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ -- ИОННЫЙ ПУЧОК |
М 59 Микросенсор для контроля остаточного давления на основе периодического теплового режима / О. С. Бохов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 14-17 : рис. - Библиогр. : с. 17 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ , 20-21 вв. Кл.слова (ненормированные): МИКРОСЕНСОР -- ДАВЛЕНИЕ -- МЭМС Аннотация: Существующие чувствительные элементы для измеpения давления ниже атмосфеpного обладают узким диапазоном измеpения, высокой погpешностью и огpаниченным сpоком службы, что связано как с констpуктивными, так и с методическими особенностями датчиков. предложена методика, основанная на исследовании пеpиодического теплового pежима в pаботе теpмоpезистоpного сенсора, позволяющая повысить чувствительность и снизить погpешность, а также уменьшить инеpционность чувствительных элементов за счет измеpения вpеменных, а не амплитудных паpаметpов сигнала |
Л 87 Лучинин, В. В. Процессы препарирования при реинжиниринге изделий микротехники / В. В. Лучинин, М. А. Усикова // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 3. - С. 31-43 : табл., рис. - Библиогр. : с. 43 ( 8 наим.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СХЕМА ИНТЕГРАЛЬНАЯ -- ПРЕПАРИРОВАНИЕ -- ТРАВЛЕНИЕ -- КРИСТАЛЛ Аннотация: Внедрение процесса реинжиниринга в современную электронную промышленность предполагает разработку новых методик исследования объектов микротехники, а значит, применения новых технологических и аналитических методов препарирования в целях контроля топологии исследуемых систем. В работе наряду с разрушающими методами препарирования, такими как механическое вскрытие изделий микротехники с последующим удалением структурообразующих слоев, рассмотрены неразрушающие методы исследования с возможностью сохранения работоспособности системы для дальнейшего электрического анализа |
И 88 Исследование продуктов золь-гель-процессов в многокомпонентных оксидных системах, протекающих с образованием магнитных нанокомпозитов / К. Г. Гареев, И. Е. Грачева, Н. Е. Казанцева, В. В. Лучинин, В. А. Мошников, А. А. Петров // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 10. - С. 5-10 : рис., табл. - Библиогр.: с. 10 (26 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МАТЕРИАЛ НАНОКОМПОЗИТНЫЙ -- ФЕРРИТ -- ЗОЛЬ-ГЕЛЬ -- ДИФРАКЦИЯ БЫСТРЫХ ЭЛЕКТРОНОВ -- МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- МАГНИТОМЕТРИЯ ВИБРАЦИОННАЯ Аннотация: Методами атомно-силовой микроскопии, электронной дифракции, Оже-спектроскопии и вибрационной магнитометрии исследованы продукты золь-гель-процессов, протекающих с образованием магнитных нано-композитов на основе простых и сложных ферритов со структурой типа шпинель |
Л 87 Лучинин, В. В. Микро- и нанотехника. Технологии превосходства / В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 2-8 : рис., табл. - Библиогр.: с. 8 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНОЛОГИИ БИОНИЧЕСКИЕ -- МИКРО - И НАНОТЕХНИКА -- ТЕХНОЛОГИИ ПРЕВОСХОДСТВА -- УКЛАД ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ Аннотация: Представлен анализ технологии превосходства как интеллектуального базиса нового технологического уклада. В рамках направления "Микро- и нанотехника" рассмотрены основные направления эволюции материаловедческого базиса как основы развития технологий превосходства |
О-75 Особенности строения и перспективы использования пленок Ленгмюра—Блоджетт жестко-цепного полиимида / С. И. Голоудин, В. В. Лучинин, В. М. Пасюта, М. Б. Криштаб, М. Ф. Панов, В. В. Розанов, В. П. Склизкова, В. В. Кудрявцев, М. Р. Бакланов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 9-15 : табл., рис. - Библиогр.: с. 15 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОЛИИМИД -- ЛЕНГМЮР—БЛОДЖЕТТ -- МЕМБРАНЫ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ ПОР Аннотация: Обсуждаются результаты исследования пленок Ленгмюра—Блоджетт преполимера полиимида — алкиламмонийной соли жесткоцепной полиамидокислоты и соответствующего полиимида, полученные методами эллипсометрии, атомно-силовой микроскопии, малоуглового рентгеновскогорассеяния и рентгеновской рефлектометрии. Показана эффективность использования наноразмерных полиимидных пленок для прецизионного снижения внутреннего напряжения в мембране из нитрида кремния, а также в качестве покрытий, стабилизирующих электретный заряд в структуре SiO—полиимид. Продемонстрирована высокая планаризующая способность рассматриваемых пленок |
Э 41 Экспресс-методы исследования размера, подвижности и агрегационной устойчивости магнитных наночастиц в микрокапиллярном чипе / Т. М. Зимина, А. В. Соловьев, В. В. Лучинин, Б. П. Николаев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 30-35 : рис., табл. - Библиогр.: с. 35 (19 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЧИП КАПИЛЛЯРНЫЙ -- НАНОЧАСТИЦЫ МАГНИТНЫЕ -- СВЕТОРАССЕЯНИЕ КВАЗИУПРУГОЕ В КАПИЛЛЯРЕ -- МАГНИТОФОРЕЗ В КАПИЛЛЯРЕ -- МИКРОТУРБИДИМЕТРИЯ Аннотация: Представлены результаты применения экспресс-методов измерения свойств магнитных наночастиц (МНЧ) магнетита (Fe 3O 4) в капиллярном чипе с интегрированным композитным планарным магнитопроводом. Размер и магнито-форетическая подвижность МНЧ измерялись методом квазиупругого рассеяния света в гомодинном и гетеродинном режиме соответственно, а агрегационная устойчивость — методом динамической микротурбидиметрии. Проведено сравнение характеристик МНЧ магнетита, синтезированного прямым и наноэмульсионным методами, и показано, что последний метод дает агрегационно-устойчивые наночастицы размером около 10 нм с магнитофоретической подвижностью около 4-10 -13 м 3 -(Тл×А×с) -1. Показано, что разработанные экспресс-методы позволяют проводить быстрые (за время порядка 0,5... 3 мин) измерения свойств МНЧ, используя микрообъемы образцов (1...2 мкл) без их разбавления (при объемной концентрации МНЧ в суспензии до 10 %) |
К 89 Кузнецова, М. А. Формирование карбидокремниевых автоэмиссионных острий методом остросфокусированного ионного пучка / М. А. Кузнецова, В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 35-40 : рис., табл. - Библиогр.: с. 40 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПУЧОК ИОННЫЙ -- ДИОД -- ТРАВЛЕНИЕ ИОННО-СТИМУЛИРОВАННОЕ -- ОСАЖДЕНИЕ ИОННО-СТИМУЛИРОВАННОЕ -- ЭМИССИЯ АВТОЭЛЕКТРОННАЯ -- КАРБИД КРЕМНИЯ Аннотация: Представлены результаты комплексного анализа возможностей и ограничений на применение остросфокусированного ионного пучка для объектов микросистемной техники (МСТ) и различных методов исследований. Детально проанализированы особенности применения данной технологии на примере создания карбидокремниевых автоэмиссионных острий и диодных структур на их основе |
Н 61 Низкопотребляющие малогабаритные радиотехнические модули на основе микроэлектромеханических ключей / О. С. Бохов, М. П. Духновский, А. Б. Козырев, А. В. Корляков, А. Н. Королев, А. В. Лагош, В. В. Лучинин, С. И. Топталов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 60-71 : рис., табл. - Библиогр.: с. 71 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ФАЗОВРАЩАТЕЛИ -- МАТЕРИАЛЫ АЛМАЗОПОДОБНЫЕ -- РЕШЕТКИ АНТЕННЫЕ ФАЗИРОВАННЫЕ -- КЛЮЧИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рaссмomрены особенности построения микроэлектромеханических (МЭМ) ключей различного принципа действия. Рaссмomрены особенности СВЧМЭМ ключей с использованием алмазоподобных материалов. Приведены разработанные модели ключей и проведен комплексный анализ их характеристик. Рассмотрены конструкции и технологии для производства МЭМ ключей. Представлены фазовращатели, созданные на базе МЭМ ключей для фазированных антенных решеток, и фазированные антенные решетки для различных частотных диапазонов на МЭМ ключах |
Э 41 Экспресс-прототипирование микроустройства с радиоканалом / П. В. Афанасьев, Н. И. Бороденков, О. С. Бохов, В. В. Лучинин, Е. М. Устинов, Р. В. Юдин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 71-74 : рис. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОНИКА ГИБКАЯ -- СБИС -- МИКРОСБОРКА -- ИНТЕГРАЦИЯ Аннотация: Целью данной работы является иллюстрация возможности быстрого прототипирования сложного интегрированного изделия микротехники, включающего сенсорный и исполнительный, микропроцессорный модули, блок энергообеспечения и радиоканал. Базовыми критериями эффективности выполненной разработки являлись, наряду с заданными функциональными характеристикам, такие параметры, как массогабаритные параметры и время реализации разработки |
Л 87 Лучинин, В. В. Принцип матрицы - фундамент междисциплинарных технологий / В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 2-9 : табл. - Библиогр.: с. 9 (21назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРИНЦИП МАТРИЦЫ -- МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИИ -- ПОДХОД ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЙ НЕРОВНОВЕСНЫЙ -- КОДИРОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ТОПОЛОГИЧЕСКОЕ Аннотация: Представлен анализ эволюции принципов структурно-топологического кодирования в микро- и нанотехнологии. Подробно рассмотрен принцип матрицы как базис конвергентных междисциплинарных технологий |
В 93 Высоковольтный миниатюрный карбидокремниевый источник наносекундных импульсов для генерации рентгеновского и микроволнового излучений / А. В. Афанасьев, Ю. А. Демин, Б. В. Иванов , В. А. Ильин, А. Ф. Кардо-Сысоев, В. В. Лучинин, А. А. Смирнов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 30-32 : рис. - Библиогр.: с. 32 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КАРБИТ КРЕМНИЯ -- СИСТЕМЫ ГЕНЕРАЦИИ -- ИЗЛУЧЕНИЯ РЕНТГЕНОВСКОЕ И МИКРОВОЛНОВОЕ -- ДИОД ДРЕЙФОВЫЙ Аннотация: Представлены результаты разработки, создания и экспериментальных исследований компонента полупроводниковых генераторов высоковольтных наносекундных импульсов для генерации рентгеновского и микроволнового излучений. Базовым компонентом системы генерации импульсов электромагнитного излучения является разработанный дрейфовый диод с резким восстановлением свойств нового поколения, реализованный на многослойной эпитаксиальной карбидокремниевой структуре, что позволяет в схеме генератора обеспечить скорость нарастания напряжения на уровне единиц вольт на пикосекунду и амплитуды импульсов до 2 кВ. |
А 90 Аскерко, А. Н. Испытания и тестирование микроэлектромеханических компонентов и систем на их основе / А. Н. Аскерко, О. С. Бохов, В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 49-54 : рис., табл. - Библиогр.: с. 54 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИСПЫТАНИЯ МЭМС -- ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- СИСТЕМЫ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- МСТ-КОМПОНЕНТЫ Аннотация: Рассмотрены современное состояние рынка микросистемной техники, особенности комплектования аппаратуры МСТ-компонентов, метрологическое обеспечение и стандартизация. Обобщены вопросы испытаний, определения характеристик надежности электронной компьютерной базы микросистемной техники |
Л 87 Лучинин, В. В. Мультидисциплинарные технологии. Гибкая электроника и фотоника / В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 12. - С. 2-6. - Библиогр.: с. 6 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИИ -- МЕЖДИСЦИПЛИНАРОНОСТЬ -- ГИБКОСТЬ -- ТРЕХМЕРНОСТЬ -- ГЕТЕРОГЕННОСТЬ -- ЭЛЕКТРОНИКА -- ФОТОНИКА Аннотация: Представлены базовые тенденции развития мультидисциплинарных технологий превосходства в области создания микро- и нанотехники |
С 33 Афанасьева, О. В. Сетевая интеграция образовательного сегмента национальной нанотехнологической сети — база ланных научно-технической пролукции, информационных и образовательных услуг / О. В. Афанасьева, С. Б. Калинин, В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 12. - С. 7-13. - Библиогр.: с. 13 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БАЗА ДАННЫХ -- ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЙ СЕГМЕНТ -- НАУЧНО-ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЙ ЦЕНТР -- НАЦИОНАЛЬНАЯ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ СЕТЬ Аннотация: Представлены результаты формирования информационно-поисковой системы и базы данных научно-образовательных центров образовательного сегмента национальной нанотехнологической сети. |
К 66 Корляков, А. В. К вопросу о формировании профессиональных стандартов в интересах наноинлустрии / А. В. Корляков, В. В. Лучинин, Л. А. Марасина // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 12. - С. 14-18. - Библиогр.: с. 18 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРОФЕССИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ -- НАНОИНДУСТРИЯ -- КОМПЕТЕНЦИИ -- ОЦЕНКА И СЕРТИФИКАЦИЯ КВАЛИФИКАЦИИ Аннотация: Представлены базовые положения, определяющие формирование и введение в действие в России профессиональных стандартов. Определены особенности профессиональных стандартов для сферы наноиндустрии |
П 76 Принципы создания гибридных миниатюрных приборов для выращивания колоний микробных клеток на основе пористого анодного оксида алюминия / Т. М. Зимина, А. В. Соловьёв, В. В. Лучинин, Е. Н. Муратова, Л. А. Краева, Г. Н. Хамбулаева // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 12. - С. 19-33. - Библиогр.: с. 33 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Обсуждаются результаты расчетов, физико-технологических исследований и конструирования лаборатории на чипе и портативного устройства для работы с лабораториями на чипе для микробиологического анализа. Представлены примеры макетной реализации такого устройства. Устройство может быть использовано при исследовании микробиологических клинических проб, особенно при микробиологической экспресс-диагностике, включая определение чувствительности бактерий к антибиотикам, в лабораторных и полевых условиях, и в соответствующих телеметрических системах. Задачей устройства является снижение времени выращивания колоний микробных клеток и автоматизация процессов подачи питательного раствора и процессов отделения и переноса выросших колоний, возможность интегрирования в миниатюрные переносные приборы и использования в лабораториях на чипе. |
О-80 От молекулярного наслаивания к эпитаксии органических веществ метолом ленгмюра-блоджетт / С. И. Голоудина, П. П. Карагеоргиев, В. В. Лучинин, В. М. Пасюта // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 12. - С. 34-38. - Библиогр.: с. 38 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕТОД ЛЕНГМЮРА-БЛОДЖЕТТ -- ЭПИТАКСИЯ -- ФОСОФОЛИПИДЫ -- СТЕАРИНОВАЯ КИСЛОТА Аннотация: Пленки органического вещества гексадецилфосфатидилхолина — аналога фосфолипида, входящего в оболочку клеточных мембран, наследуют структуру пленки Ленгмюра—Блоджетт стеариновой кислоты, что свидетельствует о возможности эпитаксии органических молекул на поверхности твердого субстрата. |