538 Н 40 Неволин, В. К. Зондовые нанотехнологии в электронике [] / В. К. Неволин. - М. : Техносфера, 2005. - 147, [1] с. : ил. - (Мир электроники). - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-94836-054-7 : 305.00 р. РУБ 538 Рубрики: ФИЗИКА--МАГНЕТИЗМ РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА Кл.слова (ненормированные): МИКРОСКОПИЯ СКАНИРУЮЩАЯ (ЗОНДОВАЯ) -- МИКРОСКОПЫ ЗОНДОВЫЕ (НАНОТЕХНОЛОГИИ) -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА (МИКРОСКОПЫ) -- ЭЛЕКТРОНИКА (НАНОТЕХНОЛОГИИ) -- НАНОТРУБКИ УГЛЕРОДНЫЕ (МИКРОСКОПИЯ ЗОНДОВАЯ) |
Ф 79 Формирование интегрированных наноразмерных графеновых структур при фокусированном ионном травлении / И. И. Бобринецкий, К. В. Горшков, В. К. Неволин, К. А. Царик // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5 , № 5-6 . - С. 66-70 : рис. - Библиогр. : с. 70 (15 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СТРУКТУРЫ НАНОРАЗМЕРНЫЕ ГРАФЕНОВЫЕ ИНТЕГРИРОВАННЫЕ -- ТРАВЛЕНИЕ ИОННОЕ ФОКУСИРОВАННОЕ -- ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ -- СУЖЕНИЯ КВАЗИОДНОМЕРНЫЕ Аннотация: Разработаны ионно-пучковые методы формирования наноструктур в мультиграфеновых слоях, интегрированных с системой токоподводящих электродов в процессе групповых микроэлектронных технологий. Результаты демонстрируют возможность утонения структур до единиц графеновых слоев и формирования квазиодномерных сужений в них |