П 32 Пивоненков, Б. И. Одно- и трехкомпонентные пьезорезистивные акселерометры с воздушным демпфированием / Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 42-45 : рис., табл. - Библиогр. : с. 45 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ФИЗИКА--ОБЩАЯ МЕХАНИКА. МЕХАНИКА ТВЕРДЫХ ТЕЛ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР ПЬЕЗОРЕЗИСТВНЫЙ -- МЭМС -- АКСЕЛЕРОМЕТР ТРЕХКОМПОНЕНТНЫЙ -- ДЕМПФИРОВАНИЕ ВОЗДУШНОЕ -- ВИБРОПРОЧНОСТЬ -- УДАРОПРОЧНОСТЬ |
П 32 Пивоненков, Б. И. Новый класс пьезорезистивных микро- и наносенсоров / Б. И. Пивоненков // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 9. - С. 38-47 : рис., табл. - Библиогр. : с. 47 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОР МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН -- СЕНСОР ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫЙ -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ Аннотация: Предложен новый класс пьезорезистивных сенсоров, обладающих гораздо более высокими характеристиками по сравнению с существующими при более простой технологии их изготовления, описаны конструктивные решения сенсоров нового типа, представлены результаты расчета их характеристик в "объемном" и "планарном" исполнении. Рассматриваемые сенсоры нового типа обеспечивают более высокие основные характеристики (включая возможность уменьшения размеров преобразователя до сотен микрометров), минимальный разброс чувствительности, более простую технологию изготовления и ее совместимость с технологией изготовления схем усиления и обработки сигнала |
П 32 Пивоненков, Б. И. Критерий качества сенсоров механических величин / Б. И. Пивоненков // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 10 . - С. 42-48. - Библиогр. : с. 48 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОР МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН -- МЭМС -- КРИТЕРИЙ КАЧЕСТВА СЕНСОРОВ Аннотация: Предлагается критерий качества сенсоров механических величин (отношение квадрата информативности в трех вариантах, в зависимости от области применения сенсора - к энергии деформации сенсора). Критерий объясняет направления и результаты развития сенсоров за период с 1970 г. по настоящее время и позволяет сравнивать качество сенсоров, оптимизировать конструктивно-технологические решения, оценивать перспективы и тенденции развития сенсоров механических величин с технической и экономической ("рыночной") точки зрения |
П 32 Пивоненков, Б. И. Трехкомпонентный пьезорезистивный мэм-акселерометр / Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 43-47 : рис., табл., граф. - Библиогр. : с. 47 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫЙ -- АКСЕЛЕРОМЕТР ТРЕХКОМПОНЕНТНЫЙ -- МЭМС Аннотация: Описан трехкомпонентный пьезорезистивный МЭМ-акселерометр с одним упругим элементом, с воздушным демпфированием и ограничителями перемещения груза. Обоснованы и рассчитаны оптимальные параметры акселерометра: внутренний размер чувствительного элемента для разных толщин пластины, длина и ширина перемычек, уточнены требования к тензорезисторам. Приведены оптимальные параметры акселерометра на диапазон 10 g двух толщинах подложки: 450 и 600 мкм. Даны предложения по параметрам акселерометра для серийного освоения и по модификациям, в которых его целесообразно выпускат |