О-75 Особенности применения метода наноиндентирования для измерения твердости на наномасштабе [Текст] / С. С. Усейнов [и др.] // Нанотехника. - 2008. - № 1. - С. 111-115 : рис., табл. - Библиогр.: с. 115 (5 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДУЛЬ ЮНГА -- НАНОИНДЕКТОР |
М 74 Моделирование процесса квазипластичной поверхностной обработки твердых хрупких материалов электронной техники / Т. Б. Теплова , О. М. Гридин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 17-23 : рис., табл. - Библиогр. : с. 23 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МАТЕРИАЛЫ КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ТВЕРДЫЕ -- ОБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТНАЯ КВАЗИПЛАСТИЧНАЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА Аннотация: В настоящее время появляется значительный интерес к использованию в микроэлектронике очень твердых кристаллических материалов, таких как сапфир или алмаз. Для их применения требуется высококачественная обработанная поверхность с минимальной дефектностью подповерхностного слоя. Квазипластичное послойное разрушение сверхтонких слоев в твердых материалах их обработке было исследовано в наших экспериментах |
С 60 Соловьев, В. В. Модель прецизионной обработки твердых хрупких кристаллических материалов с получением нанометрового рельефа поверхности [] / В. В. Соловьев // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - №12. - С. 10-14 : рис. - Библиогр. : с. 14 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЛЕЙКОСАПФИР -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- КВАЗИПЛАС ОБРАБОТКА КВАЗИПЛАСТИЧНАЯ ПОВЕРХНОСТНАЯ -- ПОДЛОЖКИ Аннотация: Все большее применение алмазы и другие алмазоподобные твердые материалы находят в промышленности. Монокристаллы лейкосапфира благодаря своим свойствам находят широкое применение при производстве высокотехнологичных изделий в области нанотехнологий. Шероховатость поверхности подложки является важным параметром при изготовлении высокочастотных приборов. Наличие дислокаций, микротрещин приводит к образованию дефектов в эпитаксиальных слоях, ухудшая эксплуатационные свойства микросхем. Для изготовления указанных изделий необходима прецизионная обработка поверхности с получением нанометрового рельефа. Традиционная обработка представляет собой сложную технологическую схему с финишным полированием в агрессивных средах. Перспективный метод квазипластичной обработки позволяет получать на этапе алмазного шлифования высококачественную поверхность |
П 99 Пятов, А. Л. Метрологическое обеспечение и стандартизация в области научных исследований сверхтвердых и новых углеродных материалов / А. Л. Пятов, В. В. Соловьев, Н. В. Судачкова // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т.8, № 5-6. - С. 98-99 . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОТЕХНОЛОГИИ -- НАНОМАТЕРИАЛЫ -- УГЛЕРОД -- МАТЕРИАЛЫ СВЕРХТВЕРДЫЕ Аннотация: В статье рассматривается метрологическое обеспечение и стандартизация научных исследований сверхтвердых и новых углеродных материалов. Описаны наиболее перспективные направления развития нанотехнологий и наноматериалов. Рассмотрены основные задачи и функции, возложенные на ФГБНУ ТИСНУМ как головную организацию отрасли по направлению «Конструкционные наноматериалы», а также основные проблемы метрологического обеспечения научных исследований в центрах коллективного пользования |