Т 21 Тарнавский, Г. А. На пути в наноэлектронику : возможные точки роста [Текст] / Г. А. Тарнавский // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 7-8. - Библиогр.: с. 8 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОТЕХНОЛОГИИ -- НАНОМАТЕРИАЛЫ -- НАНОНАУКА Аннотация: Обсуждается ряд аспектов дискуссионной статьи Ю. Р. Носова и А. Ю. Сметанова " На пути в наноэлектронику (исторические параллели и сопоставления)" |
Т 21 Тарнавский, Г. А. Программные комплексы компьютерного проектирования микроэлектромеханических систем [Текст] / Г. А. Тарнавский, Г. А. Анищик // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 23-29 : рис., табл. - Библиогр. : с. 29 (20 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ |
Т 21 Тарнавский, Г. А. Решатели процессорной системы программного комплекса NANOMOD / Г. А. Тарнавский, В. С. Анищик // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 4. - С. 6-13 : ил. - Библиогр. : с. 13 (13 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- КОМПЬЮТЕРНОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ |
Т 21 Тарнавский, Г. А. Имплантация легирующих примесей в подложку кремния с непланарной поверхностью / Г. А. Тарнавский // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 21-24. - Библиогр. : с. 24 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: МАТЕМАТИКА--ТЕОРИЯ ВЕРОЯТНОСТЕЙ И МАТЕМАТИЧЕСКАЯ СТАТИСТИКА Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛИРОВАНИЕ КОМПЬЮТЕРНОЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ -- ИМПЛАНТАЦИЯ -- ПРИМЕСИ ДОНОРНЫЕ -- ПРИМЕСИ АКЦЕПТОРНЫЕ |
Т 21 Тарнавский, Г. А. Легирование наноколонн рельефа поверхности пластины кремния / Г. А. Тарнавский // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 6 . - С. 20-24. - Библиогр. : с. 24 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛИРОВАНИЕ КОМПЬЮТЕРНОЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ -- ИМПЛАНТАЦИЯ Аннотация: На основе компьютерного моделирования проведено исследование технологического процесса имплантации легирующих примесей акцепторного и донорного типов (бора, фосфора и мышьяка) в кремниевую пластину со сложным поверхностным нанорельефом |
Т 21 Тарнавский, Г. А. Проектирование дислокаций примесей в выступающем элементе нанорельефа поверхности кремниевой пластины / Г. А. Тарнавский, С. С. Чесноков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 7-11 : рис. - Библиогр. : с. 11 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛИРОВАНИЕ КОМПЬЮТЕРНОЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ -- ИМПЛАНТАЦИЯ -- ПРИМЕСИ ДОНОРНЫЕ И АКЦЕПТОРНЫЕ -- НАНОКОЛОННЫ РЕЛЬЕФА Аннотация: На основе компьютерного моделирования проведено исследование технологического процесса имплантации легирующих примесей акцепторного и донорного типов (бора, фосфора и мышьяка) в кремниевую пластину с выступающим нанорельефом поверхности |