Т 19 Тарнавский , А. Г. Влияние защитных масок при отжиге кремниевой пластины на формирование наноразмерных примесей фосфора [Текст] / Г. А. Тарановский , В. С. Анищик, А. Г. Тарнавский // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 57-65 : граф. - Библиогр.: с. 65 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛИРОВАНИЕ -- ПРОВОДИМОСТЬ -- ЗАЩИТНЫЕ МАСКИ -- ПРИМЕСИ ФОСФОРА |