Т 98 Тютюгин, А. В. Формирование проводящих микровыводов методом жидкостной химической обработки для сборки кристаллов методом "флип-чип" / А. В. Тютюгин, С. А. Жукова, В. Е. Турков // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 26-31 : рис., граф. - Библиогр.: с. 31 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БАМП -- ХИМИЧЕСКОЕ НИКЕЛИРОВАНИЕ -- "ФЛИП-ЧИП" Аннотация: Технологию "флип-чип" все более широко применяют в качестве метода соединения кристалла с подложкой. Однако для ускорения производства существует необходимость группового метода формирования проводящих межсоединений (бампов). Данное требование можно обеспечить благодаря применению методов химической обработки. Рассмотрены основные технологические особенности формирования соединений методом химического никелирования иммерсионного золочения на всех стадиях технологического процесса, а также проведено исследование влияния параметров раствора на морфологию поверхности образующихся межсоединений |
К 41 Кинетика травления неорганического "жертвенного" слоя при изготовлении чувствительных элементов инерциальных датчиков по технологии кремний-на-изоляторе / Н. Ю. Фирсова, А. С. Елшин, М. А. Марченкова, А. К. Болотов, М. С. Иванов, И. П. Пронин, С. В. Сенкевич, Д. А. Киселев, Е. Д. Мишина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 38-43. - Библиогр.: с. 42 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): "ЖЕРТВЕННЫЙ" СЛОЙ -- ДИОКСИД КРЕМНИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛАВИКОВАЯ КИСЛОТА Аннотация: Исследован процесс травления неорганического "жертвенного" слоя в трехслойных подложках кремний-на-изоляторе. Представлены результаты исследования кинетики травления диоксида кремния в парах водного раствора плавиковой кислоты в зависимости от продолжительности процесса и температуры поверхности образцов. Показано увеличение скорости процесса по мере травления и при уменьшении температуры |