И 88 Исследование резонансных характеристик металлических микро- и нанобалок / И. В. Уваров [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 45-48 : граф., рис. - Библиогр. : с. 48 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРО- И НАНОБАЛКИ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ -- БАЛКИ МНОГОСЛОЙНЫЕ -- ВОЗБУЖДЕНИЕ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ Аннотация: Исследуются резонансные характеристики трехслойных металлических микро- и нанобалок толщиной от 60 до 180 нм. Колебания балок возбуждаются электростатически, регистрация колебаний осуществляется оптическим методом. Получены зависимости резонансных частот балок от геометрических параметров балок. Выполнено сравнение экспериментальных данных с результатами аналитических расчетов и численного моделирования |
У 18 Уваров, И. В. Резонансные свойства многослойных металлических нанокантилеверов / И. В. Уваров, В. В. Наумов, И. И. Амиров // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 29-32 : рис. - Библиогр.: с. 32 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОКАНТИЛЕВЕРЫ -- НАНОКАНТИЛЕВЕРЫ МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ -- СИСТЕМЫ НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ -- РЫЧАГ СВЕТОВОЙ -- ШЕРОХОВАТОСТЬ Аннотация: Исследованы резонансные свойства трехслойных металлических кантилеверов, имеющих толщину 40 нм. Были изготовлены два типа кантилеверов: Cr—Al—Cr и Ti—Al—Ti. Резонансные частоты кантилеверов определялись по экспериментально полученным резонансным кривым. Возбуждение колебаний кантилеверов осуществлялось электрическими силами, для регистрации колебаний применялся метод светового рычага. Экспериментально получены зависимости первой и второй резонансных частот кантилеверов от длины и ширины. Проведен анализ экспериментальных данных, а также сравнение с результатами расчетов. Обсуждается связь резонансных свойств с формой и материалом нанокантилеверов |
У 18 Уваров, И. В. Особенности изготовления металлических кантилеверов наноразмерной толщины / И. В. Уваров, В. В. Наумов, И. И. Амиров // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 11. - С. 5-9. - Библиогр.: с. 9 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- НАНОКОНТИЛЕВЕР -- ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ОСТАТОЧНЫЕ НАПРЯЖЕНИЯ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ПОВЕРХНОСТЬ Аннотация: Представлена методика изготовления металлических нанокантилеверов. Кантилеверы имели трехслойную структуру и изготавливались в двух вариантах: Cr/Al/Cr и Ti/Al/Ti. Толщина кантилеверов составляла 40, 80 и 120 нм. Отношение длины кантилевера к толщине достигало 2500. Освобождение кантилеверов выполнялось путем травления жертвенного слоя в плазме SFfi. При изготовлении кантилеверов Cr/Al/Cr применялся вакуумный термический отжиг. Для кантилеверов Ti/Al/Ti важным моментом являлся подбор режима освобождения |