Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (1)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (1)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (1)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Якубовский, А. $<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   Р 17


   
    Разработка ионно-пучкового метода изготовления кремниевых нанопроводов / Б. А. Гурович [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2012. - № 1-2. - С. 90-93 : рис. - Библиогр. : с. 93 (7 назв.) . - ISSN 1992-7223
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОПРОВОДА -- НАНОПРОВОДА КРЕМНИЕВЫЕ -- ОБЛУЧЕНИЕ ИОННОЕ -- МАСКА ЛИТОГРАФИЧЕСКАЯ
Аннотация: Предложен новый метод изготовления кремниевых нанопроводов на поверхности стандартной кремниевой пластины с помощью ионного облучения через литографическую маску. Изучены условия синтеза оксида кремния при облучении кремниевой подложки протонами с энергий ~1 кэВ. Продемонстрирована возможность синтеза оксида кремния в области геометрической тени под формируемым монокристаллическим кремниевым нанопроводом

Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика