Инвентарный номер: И-12334 - кх.
   З84
   M 78


   
    Modelling of Microfabrication Systems : научное издание / eds. R. Nassar, W. Dai. - Berlin [et al.] : Springer, 2003. - X, 269 с. : ил. - (Microtechnology and Mems) (Physics and Astronomy Online Library). - Библиогр.: с. 249-261 . - Указ.: с. 263-269 . - ISBN 3-540-00252-9 : 851.00 р.
ГРНТИ
ББК З844.1
Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА

Для заказа издания воспользуйтесь услугами МБА