Инвентарный номер: И-11751 - кх. 539.2 L 95 Low Dielectric Constant Materials for IC Applications / ред. P. S. Ho, ред. J. Lew, ред. W. W. Lee. - Berlin [et al.] : Springer-Verlag, 2003. - VII, 309 с. : ил. - (Springer Series in Advanced Microelectronics ; 9). - Библиогр. в конце гл. - Указ.: с. 305-309. - ISBN 3-540-67819-0 : 3322.00 р. РУБ 539.2 Рубрики: ФИЗИКА--ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ДИЭЛЕКТРИКОВ Для заказа издания воспользуйтесь услугами МБА |